最大行程:5000mm, 最高速度:8150mm/s
重復(fù)定位精度:±0.05mm, 水平最大負(fù)載:200kg
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最大行程:5000mm, 最高速度:3300mm/s
重復(fù)定位精度:±0.05mm, 水平最大負(fù)載:300kg
最大行程:30000mm, 最高速度:5mm/s
重復(fù)定位精度:±0.05mm, 水平最大負(fù)載:120kg